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              高分辨XRD(HRXRD)

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              高分辨XRD(HRXRD)

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              如有各類設備采購需求,請聯系專屬顧問。
              項目介紹

              XRD是一種無損的研究材料結構的方法,HRXRD適合單晶或者外延膜等取向非常好的材料結構研究。

              高分辨X射線衍射儀是半導體材料表征的標準裝備,常用于材料科學和納米技術、半導體材料和器件等的研究和生產質量控制。

              儀器適用于各種薄膜樣品的測試應用,尤其適合外延薄膜和單晶晶圓的結構分析和表征。具體可以測試的內容如下(不限于):

              1. 搖擺曲線分析(omega-2theta, rocking curve)

              2. 倒易空間圖(Reciprocal Space Mapping)

              3. 外延關系判定(Phi-scan)

              4. 反射率(XRR)

              5. 掠入射表面深度分析(GIXRD)

              6. 透射X射線衍射

              7. 殘余應力(Residual stress)

              8. 織構分析(texture)

              9. 粉末和塊材物相鑒定(Phase analysis)

              10. 小角X射線衍射(Small angle XRD)

              涉及樣品種類包括(不限于)半導體晶圓、單晶、薄膜、藥品、金屬、納米材料、有機材料、礦石等。

              樣品要求

              樣品尺寸要求:厚度小于3mm ,長寬1x1mm2以上,不同尺寸價格不同,長寬4x4mm2以上不需要加價。

              項目案例
              學術文章

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