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                高分辨XRD(HRXRD)

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                高分辨XRD(HRXRD)

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                項目介紹

                XRD是一種無損的研究材料結構的方法,HRXRD適合單晶或者外延膜等取向非常好的材料結構研究。

                高分辨X射線衍射儀是半導體材料表征的標準裝備,常用于材料科學和納米技術、半導體材料和器件等的研究和生產質量控制。

                儀器適用于各種薄膜樣品的測試應用,尤其適合外延薄膜和單晶晶圓的結構分析和表征。具體可以測試的內容如下(不限于):

                1. 搖擺曲線分析(omega-2theta, rocking curve)

                2. 倒易空間圖(Reciprocal Space Mapping)

                3. 外延關系判定(Phi-scan)

                4. 反射率(XRR)

                5. 掠入射表面深度分析(GIXRD)

                6. 透射X射線衍射

                7. 殘余應力(Residual stress)

                8. 織構分析(texture)

                9. 粉末和塊材物相鑒定(Phase analysis)

                10. 小角X射線衍射(Small angle XRD)

                涉及樣品種類包括(不限于)半導體晶圓、單晶、薄膜、藥品、金屬、納米材料、有機材料、礦石等。

                樣品要求

                樣品尺寸要求:厚度小于3mm ,長寬1x1mm2以上,不同尺寸價格不同,長寬4x4mm2以上不需要加價。

                項目案例

                高分辨XRD(HRXRD)

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