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                當前位置:材料測試 ?  力學性能 ? 

                薄膜應力測試儀

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                滿意度

                薄膜應力測試儀

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                如有各類設備采購需求,請聯系專屬顧問。
                項目介紹

                激光曲率法,基于經典基片彎曲法Stoney公式測量原理,采用先進的激光掃描方式和探測技術,以及智能化的操作,使得FST5000薄膜應力儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應力測量。

                樣品要求

                1、樣品尺寸最大8英寸,向下兼容6、 4、 3、 2、 1英寸,最小尺寸> 15*15 mm 樣品

                2、薄膜厚度目前沒有明顯要求(一般說的薄膜或者晶圓,厚度都是微米級~幾個mm以內)

                3、需要提供薄膜的大概厚度值,作為評估和測試的參考

                項目案例

                6英寸硅晶圓襯底弓高翹曲曲線

                6英寸硅晶圓襯底表面3D形貌

                TiN金屬薄膜表面3D形貌

                3D輪廓

                曲率/應力分布

                弓高/翹曲度

                薄膜應力測試儀

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