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              FIB-TEM樣品制備技術

              FIB-TEM樣品制備技術

              • 課程介紹
              • 講師介紹

              課程大綱:

              1.樣品前處理

              根據樣品導電性好壞確定是否需要噴金或噴鉑處理

              2.樣品定位

              通過E-Beam確定樣品的目標位置

              3.蒸鍍保護層

              根據樣品成分選擇合適的材料在樣品的目標區域蒸鍍保護層

              4.U-Cut

              將樣品的目標區域四周刨掉,只留下U型目標區域

              5.提取樣品

              U-Cut后的樣品通過Easylift提取到載具上

              6.樣品減薄

              根據具體測試需求對樣品進行減薄

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