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    顯微式激光測振儀

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    顯微式激光測振儀

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    項目介紹

    顯微式激光測振儀(Micro System Analyzer)可用于MEMS領域的壓電片、三維慣導、壓力傳感器陣列等微小、復雜結構的三維可視模態測試。

    這種非接觸式、可視化、高精度的測試方法,代替了傳統的電測法,幫助用戶清楚的觀察和測量一個結構的動態特性并準確以視頻、圖片和數據的形式描述出來,

    顯微式激光測振儀通過非接觸,數字顯微和目前測量動態特性及振動精度最高的 激光多普勒測振原理,快速,高效,精準獲得壓電片的區域振 動數據,除了傳統二維數據的曲線描述和分析,

    還可以通過模 態動圖方式更直觀表現,解決傳統電測方法不可視,精度低, 沒有過程數據無法進行研究等問題。

    樣品要求

    1.樣品臺200mm?200mm,高度10cm以內;

    2.用于面外和面內振動測量,振幅分辨率達亞皮米級;振幅0.5mm以內都可測試;

    3激光光斑小于4μm,橫向分辨率極高;測試距離大,可達38mm;實時振動測量,高達 25MHz 的大帶寬。

    項目案例

    傳感器振型三維分析圖

    常見問題
    1、應用領域包括?

    典型應用領域包括:慣性傳感器,如加速度計和陀螺儀;微機電傳感器和致動器 (MEMS) ;打印機噴墨頭;壓力傳感器薄膜;耳機、微型鏡頭等。

    尤其適用于MEMS領域的壓電片、三維慣導、壓力傳感器陣列等微小、復雜結構的三維可視模態測試。

    顯微式激光測振儀

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