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                當(dāng)前位置:材料測試 ?  材料加工 ? 

                激光直寫光刻機(jī)

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                激光直寫光刻機(jī)

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                如有各類設(shè)備采購需求,請聯(lián)系專屬顧問。
                項目介紹

                工作原理:根據(jù)計算機(jī)圖形數(shù)據(jù)文件,對光刻膠等近紫外感光材料進(jìn)行直寫曝光或在其他光刻基板上進(jìn)行圖形化直寫。

                樣品要求

                1.LD 固體激光器 405nm±10nm波長

                2. 樣品尺寸:8英寸及以下,支持規(guī)則或不規(guī)則形狀的基底; 包括 Si、SiN、GaAs、InP、SiC 等透明、半透明、不透明基底

                3. 分辨率>600nm  ,采用空間光調(diào)制器頻閃掃描曝光/ 連續(xù)光曝光

                4.可支持厚光刻膠曝光、支持二次重復(fù)對準(zhǔn)曝光。

                5.支持文件格式:GDSII、BMP

                項目案例

                激光直寫光刻機(jī)

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