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                俄歇電子能譜(AES)

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                俄歇電子能譜(AES)

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                項目介紹

                俄歇電子能譜(Auger Electron Spectroscopy, AES)是用具有一定能量的電子束(或X射線)激發樣品俄歇效應,通過檢測俄歇電子的能量和強度,從而獲得有關材料表面化學成分和結構信息的方法。

                AES主要可以用于:固體表面元素定性分析表面表面微區分析(線掃描、面掃描)、原子的化學結合狀態分析元素沿深度方向的分布分析表面元素半定量分析等。

                樣品要求

                1. AES元素分析范圍為Li~U只能測試無機物質,不能測試有機物物質,目前儀器檢出限為~3 atomic %;

                2. 塊體/薄膜樣品尺寸不超過5 x 5 x 3mm;粉末樣品提供10mg;

                3. 由于AES測試深度太淺,無法對樣品噴金后再測試,因此只能測試導電性較好的樣品,絕緣樣品無法測試;

                4. 樣品制備好以后,盡可能真空密封送樣,避免樣品吸附空氣中的污染物,對表面測試造成影響;

                5. 樣品在超高真空下必須穩定,無腐蝕性,無磁性,無揮發性等

                項目案例

                常見問題
                1、AES的優點是什么?

                高空間分辨率。

                2、俄歇電子能譜的逸出深度為多少?

                樣品表面0.4-2nm。

                3、俄歇電子能譜可以獲得哪些信息?

                表層成分和表面化學態。

                4、XPS中的俄歇譜與單獨的AES有什么區別?

                XPS使用X射線激發,采集的俄歇譜峰能量分辨率高一些,有的譜峰能用于化學態識別;AES用電子束激發,會破壞有些材料的化學鍵,主要適合元素分析。AES的優點是高空間分辨率,如果不是分析微米納米級微區,就不需要使用AES。

                俄歇電子能譜(AES)

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