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              當(dāng)前位置：材料測(cè)試 ?  成分分析 ? 
              
                
              動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀（D-SIMS）
              
            
              
            
              
                
              
                    
              
                        
              
                            
              98%
              滿(mǎn)意度
              
                            
              
                            
              
                                
                                
                            
              
                            
              
                                
              動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀（D-SIMS）
              
                                
                                
              
                                    
              已 預(yù) 約：
              
                                    
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              服務(wù)周期：
              
                                    
              平均10個(gè)工作日完成
              
                                
              
                                                                

                                                                
              
                                                                                                                        
              
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              咨詢(xún)價(jià)格
                                        
                                                  
              
                                        
                                            
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              如有各類(lèi)設(shè)備采購(gòu)需求，請(qǐng)聯(lián)系專(zhuān)屬顧問(wèn)。
              
                            
              
                        
              

                        
                        
                        
                        
                        
                        
                        
                    
              

                    
                    
                    
                    

                    
              
                        
              項(xiàng)目介紹
              
                        
              動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜(D-SIMS)用氣體等離子源轟擊樣品,使樣品表面原子、分子或離子等濺射出來(lái)，用質(zhì)量分析器接收濺射出的二次離子，通過(guò)分析其質(zhì)荷比(m/z)得到的二次離子質(zhì)譜。
              相比TOF-SIMS，D-SIMS有更強(qiáng)的深度分析能力，分析深度能達(dá)到5~10μm，且剖析過(guò)程中可以連續(xù)測(cè)試元素信息；深度分辨率和檢出限比TOF高很多，分析面積100、200、300μm見(jiàn)方居多，面積越大濺射速率越慢。
              
                    
              
                    
              
                        
              樣品要求
              
                        
              樣品要求：以固態(tài)薄層、表面平整材料為主，比如襯底或者薄膜；粉末、已封裝或者有結(jié)構(gòu)之類(lèi)的特殊樣品需要進(jìn)行適當(dāng)制備；
              1. 尺寸要求：5~10mm之間，厚度不超過(guò)1mm，真空保存，標(biāo)記清楚測(cè)試面；
              2. 分析面積100、200、300μm見(jiàn)方居多，面積越大濺射速率越慢；
              3. 分析深度一般在5μm之內(nèi)，但不超過(guò)10μm；
              4. 部分樣品可以定量分析（比如：常見(jiàn)的硅中各種摻雜B、P、As等，各類(lèi)化合物半導(dǎo)體及其多層結(jié)構(gòu)等），取決于是否有合適的標(biāo)準(zhǔn)樣品。
              
                    
              
                    
              
                            
              項(xiàng)目案例
              
                            
              
                                
              
                                    
              
                                            
                                            
              D-SIMS原位測(cè)試
              
                                        
              
                                            
                                            
              網(wǎng)格硅的SIMS圖譜和Mapping成像
              
                                        
                                              
              
                            
              
                        
                                                                      
              
                
            
              
        
              
        
        
              
            
              
                
              
                    
              動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀（D-SIMS）
              
                                                                        
              
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