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              自由曲面光學面形測試儀(NMF600S)

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              自由曲面光學面形測試儀(NMF600S)

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              項目介紹

              自由曲面光學面形測試儀,尤其適用非對稱回轉結構的自由曲面測量,如元件表面面形誤差分布圖,輸出PV、RMS及曲率半徑誤差等參數,測量精度達到15 nm。

              樣品要求

              1、樣品尺寸(非球面產品):φ600mm以內,厚度150mm以內,精度15nm.

              2、檢測狀態:RMS=**mm,PV=**mm(pdf格式),自動定位功能可對非球面、自由曲面、平面、凹面和凸面等各種形狀進行短時間、高精度測量。

              項目案例

              學術文章

              自由曲面光學面形測試儀(NMF600S)

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