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電子探針顯微鏡與掃描電鏡區(qū)別的三大要點

來源：測試GO 時間：2022-08-15 14:19:25 瀏覽：8398次

雖然兩種儀器的基本原理相同在進行實驗時，但是大多數(shù)人仍然分不清楚且不知道怎么選擇。以下三點教你如何區(qū)別電子探針顯微鏡與掃描電子顯微鏡：

電子探針顯微儀展示圖

1、作用

電子探針顯微鏡對電子光學裝置工作狀態(tài)下的可靠性要求遠高于掃描電子顯微鏡很多很多,為控制系統(tǒng)添加了一個負反饋機制,使得研究條件可以與標樣分析結果有極小的偏差。同等功能的EPMA比SEM系統(tǒng)造價高出許多。

2、工作原理

從工作原理上來看，掃描探針顯微鏡，因為它的工作原理是控制探針來進行掃描成像的，所以掃描的速度會受到一定的限制，檢測的效率也會偏低于其他的顯微技術。這樣掃描的效率就會收到一定的影響,而分析的質量也就會偏低于其他的顯微方法。由于壓電效應,在保證能夠準確的情況下的移動幅度比較小(目前是很難突破100μm量級),而機械的調整精度也無方法與之相銜接,所以做不了如在電子顯微鏡那么寬范圍的連續(xù)變焦下,對于確定和尋找樣品的基本結構就相當麻煩。

3、用途上

掃描電子顯微鏡，主要用于固體物質表面電子顯微高分辨成像，接配電子顯微分析附件，并進行了相關的生物特征信號識別。最常見的化學分析器件,是針對通過電子束和樣品作用區(qū)域輻射出的元素特性X-射線,通過使用EDS和WDS進行化學檢測分析,可以獲取作用區(qū)域元素組成數(shù)據(jù),由于掃描電子顯微鏡是一種電子顯微分析系統(tǒng),分析的附件也可以按照客戶要求進行選擇,所以離子色譜儀的類型也存在著多樣化。電子探針顯微鏡主要是為了準確獲取微米的晶粒以及顆粒中的元素數(shù)據(jù),通過電子束樣品作用區(qū)域發(fā)出的特性X輻射,使用探測的主要工具為WDS,通常配備4道WDS,中心對稱地安裝于電子束附近,通過此重要組件,電子探針顯微鏡主要追求微區(qū)化學分析的準確度，根據(jù)此標配,由于電子探針顯微鏡主要追求微區(qū)化學分析結果準確,所以對電子光學的分辨率要求比較寬松,而電子顯微分析則對匯聚的束束額定電流需求很大,所以束斑比較粗。早期電子探針顯微鏡成像方法主要是使用同軸電子光學顯微鏡,然后通過移動樣品臺或移動設備匯聚電子束,以尋找敏感點,雖然當前仍然有同軸光鏡,主要用于校準WD。但實際上需要使用電子探針的地方比較少,而離子色譜儀比較廣泛。