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精密儀器使用環境微振動測試規范團體標準制定完成

來源：測試GO 時間：2022-08-04 16:34:49 瀏覽：2708次

日前，由中國計量科學研究院等單位牽頭編制的《精密儀器使用環境微振動測試規范》團體標準己完成初稿制訂，為提升標準編寫質量和水平，提高實驗測試服務市場發展，現面向全社會全行業征求意見。

精密儀器

精密儀器具備價值大、精度高、使用環境要求苛刻等特點。大多數精密儀器對使用環境微振動比較敏感，環境微振動會對精密儀器造成損害、降低精度、產生難以接受的偏離，因此在實驗室規劃選址和建設過程中必須考慮降低或消除環境微振動影響。如清華大學東配樓內安裝的Titan、Tecnai、JEM 電鏡和原子力顯微鏡，當附近的京包鐵路和地鐵13號線有列車通過時，這些儀器均不滿足正常測量要求。

對精密儀器正常運行有影響且較難處理的環境微振動是指有效頻帶在 0.5~100Hz 范圍內，振動位移≤0.5μm，振動速度 ≤50μm/s 的振動。它是由各種無定向振源激發產生的一種非重復性隨機振動，振源機制通常為白噪聲，其物理特征相當復雜，且受到振源機制、波的傳播路徑、場地巖土特性等因素影響。對于保存精密儀器的這一類工程，建設場地原則上應該盡量選擇在遠離地鐵、城市干道等交通繁忙區域，但由于城市建設快速發展的要求和現狀，在工程選址時難以全都避開，因此需要根據工程實際情況開展人類活動的近距離干擾振動激發的環境振動對精密裝置振動影響的分析研究。該研究的方法目前主要采取實地測量和有限元動力分析兩大類，且國內相關研究較少，考慮到影響環境微振動的因素較多，采用有限元分析的理論計算難度較大，目前對精密儀器環境微振動影響的研究多集中在更切實可行的實測分析，且多針對某一具體工程進行，以便獲得地面脈動和人類活動的近距離干擾振動對建設地塊的綜合影響量化評價。

目前我國并沒有專門針對精密儀器使用環境微振動測試與分析的統一技術標準。因此，急需制定《精密儀器使用環境微振動測試規范》，研究提出精密儀器使用環境微振動測試方法和數據分析的規范化要求，是當前精密儀器應用中亟待解決的一項關鍵技術，其成果對精密儀器使用環境的選址和環境振動控制設計尤為重要。

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